電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀是一種高性能的光譜儀器，是以電感耦合等離子體作為激發(fā)光源，根據(jù)處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線對待測元素進行分析的儀器。其原理是利用高頻感應(yīng)線圈將氬氣等離子體激發(fā)產(chǎn)生高溫、高能量的等離子體，使樣品中的元素原子被激發(fā)并發(fā)射特征光譜線，通過檢測和分析這些光譜線來確定樣品中元素的含量。
1、進樣系統(tǒng)：
進樣系統(tǒng)是ICP儀器中極為重要的部分，按試樣狀態(tài)不同可以分別有液體、氣體或固體直接進樣。
液體進樣裝置：包括氣動霧化器、超聲波霧化器、高壓霧化器、微量霧化器、循環(huán)霧化器、耐氫氟酸霧化器等。
固體進樣裝置：常用的裝置有電火花燒蝕進樣器、激光燒蝕進樣器、電熱進樣器、插入式石墨杯進樣器。
氣體進樣裝置：如氫化物發(fā)生器、專用氣體進樣器。
2、激發(fā)源：
激發(fā)源的作用是提供試樣蒸發(fā)、原子化、激發(fā)所需的能量。
等離子體激發(fā)光源主要由射頻發(fā)生器、耦合線圈、等離子體矩管和供氣系統(tǒng)等幾部分構(gòu)成。射頻發(fā)生器主要有自激式和它激式兩種。
3、分光系統(tǒng)：
分光系統(tǒng)的作用是將由不同波長輻射復(fù)合而成的光按照波長依次展開獲得光譜。
常見的分光系統(tǒng)主要由棱鏡、光柵。
4、檢測器：
檢測器用于光電轉(zhuǎn)換的電子裝置，由光電轉(zhuǎn)換器件將光強度轉(zhuǎn)換成電信號，在積分放大后，通過輸出裝置給出定性或定量分析結(jié)果。
目前常用的有真空光電檢測器（光電倍增管，PMT）和固態(tài)光電檢測器兩類，其中固態(tài)檢測器分電感耦合型檢測器CCD、電荷注入型檢測器CID或互補金屬氧化物半導(dǎo)體類型檢測器CMOS等。
5、控制與數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)：
控制與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)由計算機和相應(yīng)軟件組成，實現(xiàn)對儀器的操作、各種參數(shù)調(diào)節(jié)和控制、測定及數(shù)據(jù)處理等。
